氮氣發(fā)生器鈀觸媒除氧純化：
　　一定的流量和純度的氮氣和氫氣同時進入設(shè)備。在混合器中充分混合后，進入設(shè)備配備的鈀催化劑除氧器，并產(chǎn)生2H2+O2=2H2O反應(yīng)脫氧催化劑作用下，達到除氧的目的。在脫水后的氮氣冷卻器中脫水后，再繼續(xù)進入干燥氮氣，氮氣露點達到60攝氏度，烘干機兩臺，其中一臺是烘干吸附干燥機，另一臺為吸水飽和干燥器，再生，準(zhǔn)備好下一個循環(huán)的吸收。干燥后，氮氣通過過濾器進行除塵，zui終結(jié)果是高純度氮氣。

　　碳分子篩在不同壓力下一定時間內(nèi)氧和氮吸附量的變化曲線：
　　經(jīng)過一段時間后，分子篩對氧的吸附達到平衡。根據(jù)碳分子篩在不同壓力下對吸附氣體的吸附特性不同，壓力降低了炭分子篩對氧的吸附，即再生。根據(jù)再生壓力的不同，可分為真空再生和常壓再生。常壓再生有利于分子篩的*再生，容易獲得高純度氣體。
　　變壓吸附制氮機是變壓吸附技術(shù)設(shè)計制造的氮發(fā)生裝置。通常，兩個吸附塔是并聯(lián)的。自動控制系統(tǒng)嚴(yán)格按照特定的可編程時序控制，交替加壓吸附減壓再生，完成氮氧分離，獲得所需的高純度氮氣。
　　氮氣發(fā)生器制氮系統(tǒng)原理：
　　兩種氣體分子的氧和氮在不同分子篩表面的氣體分子的擴散速率，較小的直徑擴散速率越快，越進入微孔碳分子篩，大直徑氣體分子擴散速率越慢，微孔炭分子篩越少。利用碳分子篩篩選氮和氧的差異，在短時間內(nèi)使吸附相中的氧富集，氣相中氮的富集，氧氮的分離，變壓吸附條件下的氣體富集氮。